系统概述
激光剥蚀是微区分析的重要手段,是原位微区微量元素和同位素分析的重要发展方向。LA-193准分子激光剥蚀系统具备超高性价比,激光器完全实现国产化,软硬件支持与电感耦合等离子体质谱仪和光谱仪直接联用。193nm准分子激光属于深紫外波段的“冷激光”,高能量密度的均匀平顶激光能够剥蚀各类样品甚至是透明物质,如:高纯石英、萤石等样品。

系统特点
技术参数
| 型号 | LA-193 |
| 激光波长 | 193nm |
| 激光脉宽 | <25ns |
| 最大重复频率 | 20Hz |
| 剥蚀光斑大小 | 10-170μm |
| 最大激光能量密度 | 30J/cm2 |
| 显微成像分辨率 | 2.5μm |
| 步进重复精度 | +/- 3 um |
| 重量 | 600kg |
| 外形(L×W×H) | 2600mm×650mm×1800mm |