准分子激光剥离系统
  • 分类:解决方案
  • 作者:盛方科技
  • 发布时间:2026-07-22

系统概述

激光剥蚀是微区分析的重要手段,是原位微区微量元素和同位素分析的重要发展方向。LA-193准分子激光剥蚀系统具备超高性价比,激光器完全实现国产化,软硬件支持与电感耦合等离子体质谱仪和光谱仪直接联用。193nm准分子激光属于深紫外波段的“冷激光”,高能量密度的均匀平顶激光能够剥蚀各类样品甚至是透明物质,如:高纯石英、萤石等样品。

系统特点

  • 能量密度高达30J/cm2,可剥蚀石英、萤石等
  • 激光束能量分布均匀化,剥蚀均匀
  • 标配100x100mm移动平台,可选150x150mm平台
  • 独立的视频和激光光学控制单元,能够更好的查看样品剥蚀点
  • 剥蚀光斑范围10-200μm,标配12个剥蚀光斑,光斑可定制
  • 含样品池、载气系统

 技术参数

型号LA-193
激光波长193nm
激光脉宽<25ns
最大重复频率20Hz
剥蚀光斑大小10-170μm
最大激光能量密度30J/cm2
显微成像分辨率2.5μm
步进重复精度+/- 3 um
重量600kg
外形(L×W×H)2600mm×650mm×1800mm

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