PLD20、PLD30 准分子激光器

单脉冲能量最高到650/500mJ

PLD20L 准分子激光器

单脉冲能量最高到800mJ

PLD50L 准分子激光器

单脉冲能量最高到800mJ

PLD100 准分子激光器

单脉冲能量最高到200mJ，最高重频100Hz

PLD100L 准分子激光器

脉冲能量最高到400mJ，最高重频100Hz

FBG200 准分子激光器

重复频率1 - 200Hz可调节

FBG200L 准分子激光器

重复频率1 - 200Hz可调节

FBG200G 准分子激光器

重复频率1 - 200Hz可调节

FBG500 准分子激光器

重复频率1 - 500Hz可调节

FBG1kHz 准分子激光器

重复频率1 - 1000Hz可调节

308nm皮肤治疗仪

准分子激光退火系统

系统概述 准分子激光退火系统采用准分子激光作为光源，经过匀光、整形后获得极均匀的高能量密度线型激光束，可实现大面积样品均匀扫描； 准分子激光退火系统输出波长短，光子能量大，样品吸收深度小，主要用于薄膜材料的退火或改性研究，如低温多晶硅薄膜退火、光电功能薄膜材料开发等。