产品特点
产品特点：
- 单脉冲能量最高650mJ
- 采用磁助器激励回路设计，延长闸流管寿命
- 内置能量反馈系统，能量稳定性好
- 内部触发/外部触发
应用：
- 激光沉积薄膜 、精细加工 、材料表面处理、激光退火
硬件规格
| 技术参数 | |||||
| 介质气体 | ArF | KrF | XeCl | XeF | |
| 波长(nm) | 193 | 248 | 308 | 351 | |
| 最大单脉冲能量(mJ) | PLD30 | 200 | 500 | 300 | 200 |
| PLD20 | 300 | 650 | 400 | 300 | |
| 平均功率(W) | PLD30 | 5 | 14 | 8 | 5 |
| PLD20 | 5 | 12 | 8 | 5 | |
| 最大重复频率(Hz) | PLD30 | 30 | |||
| PLD20 | 20 | ||||
| 脉冲宽度(FWHM, ns) | PLD30 | 25±5 | |||
| PLD20 | |||||
| 光斑尺寸(mm)(V*H) | PLD30 | （26±1）×（9±1） | |||
| PLD20 | |||||
| 能量稳定性（sigma,% ） | 1 （248nm输出时测量） | ||||
| 发散角(mrad)(V*H) | ~3×1 | ||||
| 冷却方式 | 水冷 | ||||
| 交互方式 | 控制系统：RS232（液晶屏/PC） | ||||
| 外部触发：电信号 | |||||
规格： PLD30/PLD20： 1500×450×880mm （300kg）
