产品特点
脉冲能量最高到800mJ
采用磁助器激励回路设计，延长闸流管寿命
内置能量反馈系统，能量稳定性好
内部触发/外部触发
支持双波长定制
硬件规格
| 技术参数 | ||||
| 介质气体 | ArF | KrF | XeCl | |
| 波长(nm) | 193 | 248 | 308 | |
| 最大单脉冲能量(mJ) | PLD50L | 400 | 800 | 500 |
| 平均功率(W) | PLD50L | 15 | 33 | 20 |
| 最大重复频率(Hz) | PLD50L | 50 | ||
| 脉冲宽度(FWHM, ns) | PLD50L | 25±5 | ||
| 光斑尺寸(mm)(V*H) | PLD50L | （26±1）×（9±1） | ||
| 能量稳定性（sigma,% ） | 1（248nm输出时测量） | |||
| 发散角(mrad)(V*H) | ~3×1 | |||
| 冷却方式 | 水冷 | |||
| 交互方式 | 控制系统：RS232（液晶屏/PC） | |||
| 外部触发：电信号 | ||||
