预混合气

193/248/308nm准分子激光预混合气 规格：16L钢瓶/2000L气、47L钢瓶/6000L气

氟气过滤器

规格型号：70-54CFEF

衰减器

规格型号：12512-0411 1.衰减范围10%-90% 2.软件控制（自研开发软件） 3.电动/手动衰减 4.适用于193nm/248nm准分子激光