PLD20、PLD30 准分子激光器

单脉冲能量最高到650/500mJ

PLD20L 准分子激光器

单脉冲能量最高到800mJ

PLD50L 准分子激光器

单脉冲能量最高到800mJ

PLD100 准分子激光器

单脉冲能量最高到200mJ，最高重频100Hz

PLD100L 准分子激光器

脉冲能量最高到400mJ，最高重频100Hz