产品特点
产品特点：
- 高重复频率，能量稳定性好
- 设计紧凑，体积小
- 内部触发/外部触发
应用：
- 激光沉积薄膜 、精细加工 、材料表面处理、激光退火
硬件规格
| 技术参数 | |||
| 介质气体 | ArF | KrF | XeCl |
| 波长(nm) | 193 | 248 | 308 |
| 最大单脉冲能量(mJ) | 100 | 200 | 100 |
| 平均功率(W) | 8 | 18 | 8 |
| 最大重复频率(Hz) | 100 | ||
| 脉冲宽度(FWHM, ns) | ～15 | ||
| 能量稳定性（sigma %） | 2 | ||
| 光斑尺寸(mm)(V*H) | 14×5 | ||
| 发散角(mrad)(V*H) | ～3×1 | ||
| 产品尺寸(mm)(L*W*H) | 1015×537×582 | ||
| 重量(kg) | 100 | ||
| 电源要求 | 220V, 50Hz, 10A | ||
| 冷却方式 | 水冷 | ||
| 交互方式 | 控制系统：RS232（液晶屏/PC） | ||
| 外部触发：电信号 | |||
规格： 1015mm×537mm×582mm
