产品特点
产品特点：
- 脉冲能量最高到400mJ
- 最高重频100Hz
- 内置能量反馈系统，能量稳定性好
- 内部触发/外部触发
应用：
- 激光沉积薄膜 、精细加工 、材料表面处理、激光退火
硬件规格
| 介质气体 | ArF | KrF | XeCl | ||
| 波长（nm) | 193 | 248 | 308 | ||
| 最大脉冲能量（mJ） | PLD100L | 240 | 400 | 250 | |
| 最大平均功率（W） | PLD100L | 12 | 30 | 16 | |
| 最大重复频率（Hz） | PLD100L | 100 | |||
| 脉冲宽度(FWHM, ns) | PLD100L | 25±5 | |||
| 光斑尺寸（mm）（V*H) | PLD100L | （26±1）×（9±1） | |||
| 能量稳定性（sigma，%） | 1（248nm输出时能量） | ||||
| 发散角（mrad)(V*H） | ~3×1 | ||||
| 冷却方式 | 水冷 | ||||
| 交互方式 | 控制系统：RS232（液晶屏/PC） | ||||
| 外部触发：电信号 | |||||
规格： PLD100L： 1300×400×875mm (300kg）
