系统概述
准分子激光退火系统采用准分子激光作为光源，经过匀光、整形后获得极均匀的高能量密度线型激光束，可实现大面积样品均匀扫描。准分子激光退火系统输出波长短，光子能量大，样品吸收深度小，主要用于薄膜材料的退火或改性研究，如低温多晶硅薄膜退火、光电功能薄膜材料开发等。
系统特点
技术参数
| 型号 | ELA-308-100 | ELA-248-100 | ELA-248-50 |
| 激光波长 | 308nm | 248nm | 248nm |
| 激光束尺寸 | 100mm×0.3mm | 100mm×0.4mm | 50mm×0.8mm |
| 最大激光能量密度 | 450 mJ/cm2 | 200 mJ/cm2 | 200 mJ/cm2 |
| 光束均匀度 | >92% | >92% | >92% |
| 扫描步进精度 | 5μm | 5μm | 5μm |
| 处理气氛 | N2/Air | N2/Air | N2/Air |
| 重量 | 500Kg | 500Kg | 500Kg |
| 冷却方式 | Air | Air | Air |
| 外形(L×W×H) | 1600mm×1600mm×1400mm | 1800mm×900mm×1600mm | 1800mm×900mm×1600mm |
