系统概述
准分子激光剥离系统采用准分子激光作为光源，经过匀光、整形后获得极均匀的高能量密度线型激光束，适合聚酰亚胺等薄膜从玻璃、蓝宝石等基板上剥离，剥离良率高。准分子激光输出在紫外波段，样品吸收深度小，对柔性基底损伤小。准分子剥离系统主要用于柔性显示、柔性电子的生产和研发。
系统特点
技术参数
| 型号 | LLO-308-100 | LLO-248-100 |
| 激光波长 | 308nm | 248nm |
| 激光束尺寸 | 100mm×0.3mm | 100mm×0.4mm |
| 最大激光能量密度 | 300 mJ/cm2 | 200 mJ/cm2 |
| 光束均匀度 | >92% | >92% |
| 扫描步进精度 | 5μm | 5μm |
| 重量 | 500Kg | 500Kg |
| 冷却方式 | Water | Water |
| 外形(L×W×H) | 1600mm×1600mm×1400mm | 1800mm×900mm×1600mm |
