产品特点
尺寸:φ10cm,高22.5cm
接口:1/4卡套直通
过滤效果:含量0.1%氟气的激光混合气,经过一个氟气过滤器后,氟气的含量降低至1ppm(百万分之一)以下,两个过滤器串联使用,氟气的含量可降低至0.01ppm以下
准分子激光器附件
规格型号:70-54CFEF
尺寸:φ10cm,高22.5cm
接口:1/4卡套直通
过滤效果:含量0.1%氟气的激光混合气,经过一个氟气过滤器后,氟气的含量降低至1ppm(百万分之一)以下,两个过滤器串联使用,氟气的含量可降低至0.01ppm以下