准分子激光器附件

氟气过滤器

规格型号:70-54CFEF

氟气过滤器

产品特点

尺寸:φ10cm,高22.5cm

接口:1/4卡套直通

过滤效果:含量0.1%氟气的激光混合气,经过一个氟气过滤器后,氟气的含量降低至1ppm(百万分之一)以下,两个过滤器串联使用,氟气的含量可降低至0.01ppm以下

硬件规格

选配信息

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