产品特点
接口:1/4卡套直通
使用方向:下方进气,上方出气
耐压能力:>0.4MPa
使用期限:自开封使用之日起一年
S款尺寸:φ100mm,高225mm
过滤效果:含量0.1%氟气的激光混合气,经过一个氟气过滤器后,氟气的含量降低至1ppm(百万分之一)以下,两个过滤器串联使用,氟气的含量可降低至0.01ppm以下。
L款尺寸:φ100mm,高455mm
过滤效果:含量0.1%氟气的激光混合气,经过一个氟气过滤器后,氟气的含量可降低至0.01ppm以下。
准分子激光器附件
规格型号:70-54CFEF
接口:1/4卡套直通
使用方向:下方进气,上方出气
耐压能力:>0.4MPa
使用期限:自开封使用之日起一年
S款尺寸:φ100mm,高225mm
过滤效果:含量0.1%氟气的激光混合气,经过一个氟气过滤器后,氟气的含量降低至1ppm(百万分之一)以下,两个过滤器串联使用,氟气的含量可降低至0.01ppm以下。
L款尺寸:φ100mm,高455mm
过滤效果:含量0.1%氟气的激光混合气,经过一个氟气过滤器后,氟气的含量可降低至0.01ppm以下。