产品特点
硬件规格
规格：16L钢瓶/2000L气、47L钢瓶/6000L气
| 波长 | 钢瓶容积 | 充气容量 | 阀门规格 |
| 193nm（ArF） | 16L | 2000L | CGA679/DIN8 |
| 193nm（ArF） | 47L | 6000L | CGA679/DIN8 |
| 248nm（KrF) | 16L | 2000L | CGA679/DIN8 |
| 248nm（KrF) | 47L | 6000L | CGA679/DIN8 |
准分子激光器附件
193/248/308nm准分子激光预混合气 规格：16L钢瓶/2000L气、47L钢瓶/6000L气
规格：16L钢瓶/2000L气、47L钢瓶/6000L气
| 波长 | 钢瓶容积 | 充气容量 | 阀门规格 |
| 193nm（ArF） | 16L | 2000L | CGA679/DIN8 |
| 193nm（ArF） | 47L | 6000L | CGA679/DIN8 |
| 248nm（KrF) | 16L | 2000L | CGA679/DIN8 |
| 248nm（KrF) | 47L | 6000L | CGA679/DIN8 |
