产品特点
系统特点
- 线扫描光束，可实现大面积样品均匀处理
- 采用多级透镜整列匀光技术，光束均匀性好
- 激光波长可选择308nm、248nm，351nm、193nm可定制
- 线光束尺寸可定制
硬件规格
型号 | ELA-308-100 | ELA-248-100 | ELA-248-50 |
激光波长 | 308nm | 248nm | 248nm |
激光束尺寸 | 100mm×0.3mm | 100mm×0.4mm | 50mm×0.8mm |
最大激光能量密度 | 450 mJ/cm2 | 200 mJ/cm2 | 200 mJ/cm2 |
光束均匀度 | >92% | >92% | >92% |
扫描步进精度 | 5μm | 5μm | 5μm |
处理气氛 | N2/Air | N2/Air | N2/Air |
重量 | 500Kg | 500Kg | 500Kg |
冷却方式 | Air | Air | Air |
外形(L×W×H) | 1600mm×1600mm×1400mm | 1800mm×900mm×1600mm | 1800mm×900mm×1600mm |
