产品特点
系统特点
- EPM微标记系统是基于193nm准分子激光器的高性能系统
- 主要由193nm深紫外准分子激光光源、光学传输系统、精密定位系统组成
- 具有作用激光光源波长短、脉宽短、峰值功率高、能量密度大等特点
- 特别适合于有机物、玻璃、陶瓷等材料表面的高精度微标记应用
- 桌面放置，可选择193nm/248nm波长
- 可软件定制，进行微沟道微孔等制作
硬件规格
技术参数
| 型号 | EPM |
| 激光波长 | 193nm |
| 典型脉宽 | ~10ns |
| 聚焦光斑 | 最小30um |
| 能量密度 | >5J/cm2 |
| 作用范围 | 100mm*100mm |
| 位置精度 | 5um |
规格
