产品特点
系统特点
- 能量密度高达30J/cm2，可剥蚀石英、萤石等
- 激光束能量分布均匀化，剥蚀均匀
- 标配100x100mm移动平台，可选150x150mm平台
- 独立的视频和激光光学控制单元，能够更好的查看样品剥蚀点
- 剥蚀光斑范围10-200μm，标配12个剥蚀光斑，光斑可定制，含样品池、载气系统
硬件规格
技术参数
型号 | LA-193 |
激光波长 | 193nm |
激光脉宽 | ＜25ns |
最大重复频率 | 20Hz |
剥蚀光斑大小 | 10-170μm |
最大激光能量密度 | 30J/cm2 |
显微成像分辨率 | 2.5μm |
步进重复精度 | +/- 3 um |
重量 | 600kg |
外形(L×W×H) | 2600mm×650mm×1800mm |
