产品特点
产品特点：
- 磁开关设计，使用寿命更长
高重复频率，能量稳定性好
设计紧凑，体积小
内部触发/外部触发
应用：
- 光掩模检查、光纤光栅刻写、光学器件损伤检测、紫外光解离
硬件规格
| 技术参数 | |||
| 介质气体 | ArF | KrF | |
| 波长(nm) | 193 | 248 | |
| 最大单脉冲能量(mJ) | 8 | 16 | |
| 平均功率(W) | 6 | 12 | |
| 最大重复频率(Hz) | 1000 | ||
| 脉冲宽度(FWHM, ns) | 10±3 | ||
| 能量稳定性（sigma %） | 3 | ||
| 光斑尺寸(mm)(V*H)5.7 | （5.7±0.5）×（3.0±0.5） | ||
| 发散角(mrad)(V*H) | （2.25±0.5）×（1±0.5） | ||
| 产品尺寸(mm)(L*W*H) | 804.5×373×667 | ||
| 重量(kg) | 95 | ||
| 电源要求 | 220V, 50Hz, 5A | ||
| 冷却方式 | 水冷 | ||
| 交互方式 | 控制系统：RS232（液晶屏/PC） | ||
| 外部触发：电信号 | |||
(可定制308nm/351nm）
规格
选配信息
- 预混合气 193/248nm 47L瓶/6000L气 16L瓶/2000L气
- 高纯氖气 5.5N 40L瓶/4000L气 16L瓶/2000L气
