在激光领域新颖性：

1、基于创新技术设计、具有独立自主知识产权的国产紫外/深紫外大能量准分子激光器产品；

2、该性能指标和应用方向上是国内市场首次推出的国产准分子激光器，性能指标达到国际先进水平；

3、关键技术采用模块化设计，降低成本的同时提高了产品性能和可靠性，适合工业制造领域长期稳定可靠运行的应用需求；

4、放电腔结构采用先进金属陶瓷腔材料，内置静电除尘器和光学镜片防尘器，提高了激光器工作寿命和稳定性；

5、设计开发了激光输出稳定性系统，并且采用双串口分时控制准分子激光器通讯电路、高压充电电源逆变回路、主开关电流检测保护的电路等技术，保障产品的稳定性和长寿命运转；

6、系统操作便捷、运行成本低、维护方便。

与同类产品对比优势：

PLD100L准分子激光器主要是针对MicroLED制造中的激光剥离、巨量转移和修复等工艺设计开发的准分子激光器，目前市场上仅有国外的COMPex110产品可以对标PLD100L准分子激光器。PLD100L准分子激光器的推出，打破了国外产品在该领域的垄断，填补了国内该应用市场的空白。与国外产品比较，PLD100L准分子激光器总体性能指标相当，但最大单脉冲能量和平均功率两项关键指标均优于国外产品。同时价格和售后技术支持优势巨大。

表1 ?PLD100L准分子激光器与国外COMPex110产品指标对比

市场反馈：

PLD100L准分子激光器由盛方科技在国内率先研制完成，独家生产，已经应用于McroLED中的激光剥离、巨量转移、修复，填补了国内空白，性能指标达到国际先进水平，为市场提供了专业性强、低成本、长寿命的国产产品。截止目前为止已经得到良好的市场反馈。产品已经在国内多家头部激光装备公司试用乃至追加采购，该产品已经在MicroLED产线上现场应用并获得良好的效果。

随着产品验证的进一步展开和订货量的增加，将会明显拉升企业的经济收益。预计明年的订单接近千万元。随着MicroLED产品市场的启动和其他相关市场的需求，未来该产品的收益预计会有爆发性的增长。

? 从社会效益上看，该产品的推出打破了长期以来工业级别的准分子激光器国外垄断局面，推动了准分子激光产品国产化的进程，同时带动与准分子激光产品相关的技术领域和市场的国产化进程。