准分子激光器附件

氟气过滤器

规格型号:70-54CFEF

氟气过滤器

产品特点

接口:1/4卡套直通

使用方向:下方进气,上方出气

耐压能力:>0.4MPa

使用期限:自开封使用之日起一年


S款尺寸:φ100mm,高225mm

过滤效果:含量0.1%氟气的激光混合气,经过一个氟气过滤器后,氟气的含量降低至1ppm(百万分之一)以下,两个过滤器串联使用,氟气的含量可降低至0.01ppm以下。


L款尺寸:φ100mm,高455mm

过滤效果:含量0.1%氟气的激光混合气,经过一个氟气过滤器后,氟气的含量可降低至0.01ppm以下。

硬件规格

选配信息

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