深圳圳盛方科技新产品---FBG1kHz来了!
此款准分子激光器重复频率为1-1000Hz可调,可应用于光栅光纤刻写、光学测试、光掩模检查等。


波长可选193/248nm,最大重复频率有200/500/1000Hz三种可选。该产品设计紧凑,体积小;磁开关设计,使用寿命更长;高重复频率,能量稳定性好;有内触发和外触发两种方式。
具体参数如下:
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介质气体 |
ArF |
KrF |
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波长(nm) |
193 |
248 |
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最大单脉冲能量(mJ) |
12 |
16 |
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平均功率(W) |
2/5/8 |
2.5/6/12 |
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最大重复频率(Hz) |
200/500/1000 |
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脉冲宽度(FWHM,?ns) |
5±2,10(1000Hz) |
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能量稳定性(sigma?%) |
2 |
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光斑尺寸(mm)(V*H) |
(5.7±0.5)×(2.5±0.5) |
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发散角(mrad)(V*H) |
(2.25±0.5)×(1±0.5) |
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产品尺寸(mm)(L*W*H) |
804.5 ×373 ×667 |
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重量(kg) |
135 |
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电源要求 |
220V,?50Hz,?10A |
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冷却方式 |
风冷(≤200Hz)/水冷(>200Hz) |
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交互方式 |
控制系统:RS232(液晶屏/PC) |
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外部触发:电信号 |
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