深圳盛方推出国产1000Hz准分子激光器——高重频准分子激光器
  • 分类:公司新闻
  • 作者:盛方科技
  • 发布时间:2026-08-17

深圳圳盛方科技新产品---FBG1kHz来了!

此款准分子激光器重复频率为1-1000Hz可调,可应用于光栅光纤刻写、光学测试、光掩模检查等。

波长可选193/248nm,最大重复频率有200/500/1000Hz三种可选。该产品设计紧凑,体积小;磁开关设计,使用寿命更长;高重复频率,能量稳定性好;有内触发和外触发两种方式。

具体参数如下:

介质气体

ArF

KrF

波长(nm)

193

248

最大单脉冲能量(mJ)

12

16

平均功率(W)

2/5/8

2.5/6/12

最大重复频率(Hz)

200/500/1000

脉冲宽度(FWHM,?ns)

5±2,10(1000Hz)

能量稳定性(sigma?%)

2

光斑尺寸(mm)(V*H)

(5.7±0.5)×(2.5±0.5)

发散角(mrad)(V*H)

(2.25±0.5)×(1±0.5)

产品尺寸(mm)(L*W*H)

804.5 ×373 ×667

重量(kg)

135

电源要求

220V,?50Hz,?10A

冷却方式

风冷(≤200Hz)/水冷(>200Hz)

交互方式

控制系统:RS232(液晶屏/PC)

外部触发:电信号

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